超音波スプレーの5つの主な利点

1. 高い塗布均一性

超音波ノズルで霧化された液体粒子の分布の均一性は、一般にエアスプレーガンとして知られている二流体ノズルよりもはるかに高く、超音波ノズルによる噴霧後のコーティングの均一性が向上します。 . 通常の状況下では、超音波スプレーのコーティングの均一性は 95% 以上に達することがあります。

2. 原料利用率が高く、飛沫が少ない

超音波スプレーは超音波振動による液体の霧化であるため、コーティング霧化のプロセスはガスを必要とせず、つまり霧化プロセスは圧力を必要とせず、霧化後に非常に低いキャリアガス圧力のみを適用して液体ミストを輸送します。2流体高圧エア噴射による液の跳ね返りや飛沫を大幅に低減し、塗膜の稼働率を大幅に向上させます。超音波スプレーの原料利用率は通常のエアスプレーの4倍以上で、利用率は90％以上に達することができます。

3. 膜厚制御の高精度化

コーティングの厚さの精度に影響を与える主な要因は、コーティングのスプレー流量です。これは、単位時間あたりに基板にロードされる材料の量です。超音波ノズルは液に圧力の影響を与えないため、噴霧される塗布液の流量は高精度定量ポンプで完全に制御でき、高精度な噴霧流量制御を実現します。たとえば、高精度シリンジ ポンプの流量制御精度は最大で毎秒ピコリットルであり、超音波ノズルのマイクロ チャネル設計により、毎秒ナノリットルの全体的な制御精度も達成できます。

4.コーティングの厚さは薄く、最大数十ナノメートルです

超音波ノズルの噴射量は、微少安定流量（0.001ml/min）を実現できるため、基板への負荷が非常に少なく、極薄の乾燥皮膜を実現できます。一部のナノ材料では、乾燥膜厚が数十ナノメートルまで薄くなることがあります。透明導電膜、反射防止膜、反射防止膜、断熱膜、親水膜、疎水膜などのガラス膜の作製に使用できます。

5. ノズルの目詰まりがなく、メンテナンス費用が安い

超音波ノズルは、超音波振動により液体の微粒化を実現するものであり、超音波振動の周波数により微粒化粒子が決まるため、二流体ノズルとは異なります。微細な霧化粒子を得るためにノズル径を小さくする必要がないため、ノズル詰まりのリスクがなくなります。